ASML收購Mapper，電子束微影技術何去何從？

在美國的壓力下，荷蘭經濟事務及氣候國務秘書Mona Keijzer請求ASML收購破產的Mapper。 ASML雖然對Mapper的電子束微影技術並無太大興趣，但對其技術和專利知識頗感興趣，尤其看重其在半導體缺陷偵測的應用。 ASML在拍賣會上以7,500萬歐元拿下Mapper，並將其240名員工納入旗下。