Dobrý den, společnost byla průkopníkem metody kapalné fáze pro přípravu 8palcových krystalů s nízkou hustotou defektů Jaký je rozdíl mezi metodou v plynné fázi a metodou v kapalné fázi ve skutečné hromadné výrobě? Jaký je rozdíl v chybovosti a výrobních nákladech? Díky

0
Tianyue Xianxian: Vážení investoři, ahoj! Klíčovým krokem při výrobě monokrystalických substrátů z karbidu křemíku je růst monokrystalů, což je také hlavní technická obtíž při aplikaci polovodičových materiálů karbidu křemíku. Jedná se o technologicky a kapitálově náročný článek v průmyslovém řetězci. Mezi hlavní způsoby výroby monokrystalů karbidu křemíku patří fyzikální transport par (PVT), vysokoteplotní chemická depozice (HT-CVD), kapalná fáze (LPE) a další metody. Mezi nimi je metoda PVT současnou metodou růstu krystalů karbidu křemíku ve velkém měřítku v průmyslu. Technologie růstu krystalů SiC v kapalné fázi má mnoho výhod, včetně teoreticky vysoké kvality krystalů, a přitahuje velkou pozornost v průmyslu, stále však existují potíže s industrializací, které je třeba překonat při použití kapalné fáze ve velkém měřítku Metoda v kapalné fázi ještě nebyla industrializována. Společnost aktivně zkoumá a zavádí perspektivní technologie, včetně metody kapalné fáze (metoda LPE) v technologii růstu krystalů. Na Semicon Forum 2023 hlavní technologický ředitel společnosti Dr. Gao Chao informoval o základní technologii společnosti a perspektivním výzkumu a vývoji. 8palcový krystal s nízkou hustotou defektů byl připraven metodou v kapalné fázi, která je první v průmyslu. Společnost bude i nadále zvyšovat své úsilí v oblasti výzkumu a vývoje, neustále prorážet technická úzká místa, urychlovat inovace produktů a upevňovat a posilovat vedoucí pozici společnosti v oboru. Děkuji za pozornost!