자회사인 뮤텍의 매크로 결함 검출 제품으로 리소그래피 공정 중 웨이퍼 검사를 실현할 수 있는가?
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2023-06-26 09:00
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천주기술(주): 안녕하세요. 저희 회사에 관심을 가져주셔서 감사합니다. MueTec의 제품은 반도체 프론트엔드 웨이퍼의 측정 및 검사를 목표로 하며, 그 중 Argos 시리즈와 Rembrandt 시리즈는 매크로 결함 감지 장비입니다. 사진판독 공정 중 검사는 미세한 결함을 감지하는 것입니다.
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