同社子会社のmuetecのマクロ欠陥検出製品は、リソグラフィー工程中のウェハ検査を実現できるのか？

Tianjue Technology: こんにちは。弊社にご注目いただきありがとうございます。 MueTec の製品は半導体前工程ウェハの測定・検査を目的としており、その中でも Argos シリーズと Rembrandt シリーズはマクロ欠陥検出装置です。フォトリソグラフィー工程中の検査は、微細な欠陥の検出です。