碳化矽元件成本分析

在碳化矽元件的成本構成中，基板、外延、裝置分別佔比46%、23%、20%。基板是碳化矽降本的核心。目前6吋碳化矽基板價格在900美金/片左右，數倍於傳統矽基半導體。未來透過提升材料使用率、向大尺寸發展、提升良率、提升長晶製程等方式，碳化矽基板可望進一步降低生產成本，提高市場競爭力。