中國電科48所成功實現SiC外延設備首次大規模批量出貨

2025年2月9日，中國電科48所旗下的30台套SiC外延設備順利實現大量出貨，這是48所首次實現大規模批量出貨。這些設備是專門用於SiC設備環節建構的，旨在提升設備性能和效率，實現更高的良率和更低的缺陷水準。目前，該設備已成功出貨百餘台套，並在客戶現場穩定運作。