중국전자과기그룹(中国電子科技集團) 제48연구소, SiC 에피택셜 장비 첫 대량 출하 성공

2025년 2월 9일, 중국전자기술그룹 48연구소의 SiC 에피택셜 장비 30세트가 배치로 성공적으로 출하되었습니다. 이는 48연구소가 대규모 배치 출하를 달성한 첫 번째 사례입니다. 이러한 장치는 SiC 장치 부문을 위해 특수 제작되었으며, 장치 성능과 효율성을 개선하고 더 높은 수율과 더 낮은 결함 수준을 달성하도록 설계되었습니다. 현재 이 장비 100대 이상이 성공적으로 배송되어 고객 현장에서 안정적으로 작동하고 있습니다.