中国電子科技集団公司第48研究所がSiCエピタキシャル装置の初の大量出荷に成功

2025年2月9日、中国電子科技集団公司第48研究所のSiCエピタキシャル装置30セットがバッチ出荷に成功しました。これは第48研究所が大規模なバッチ出荷を達成した初めてのケースです。これらのデバイスは SiC デバイス セグメント向けに特別に構築されており、デバイスのパフォーマンスと効率を向上させ、歩留まりの向上と欠陥レベルの低減を実現するように設計されています。現在、この装置は100台以上出荷されており、顧客先で安定的に稼働しています。