サムスンは韓国の華城に初の高NA EUVを設置する計画で、2025年半ばに稼働開始予定。

サムスンは、2024年第4四半期から2025年第1四半期にかけて、韓国の華城パークに初の高NA EUVの設置を開始すると報じられている。2025年半ばに実用化される予定で、まずは2nm未満のロジックプロセスと高度なDRAMチッププロセスの開発に使用される予定だ。サムスンはまた、レーザーテック、JSR、東京エレクトロン、シノプシスと協力して、高NA EUVエコシステムを構築する計画だ。