Samsung plāno uzstādīt savu pirmo High-NA EUV Hwaseong, Dienvidkorejā, kuru paredzēts nodot ekspluatācijā 2025. gada vidū.

Tiek ziņots, ka Samsung sāks instalēt pirmo High-NA EUV savā Hwaseong parkā Dienvidkorejā no 2024. gada ceturtā ceturkšņa līdz 2025. gada pirmajam ceturksnim. Paredzams, ka tas tiks nodots ekspluatācijā 2025. gada vidū un vispirms tiks izmantots, lai izstrādātu loģiskos procesus, kas mazāki par 2 nm, un progresīvus DRAM mikroshēmu procesus. Samsung arī plāno sadarboties ar Lasertec, JSR, Tokyo Electron un Synopsys, lai izveidotu augstas NA EUV ekosistēmu.