Samsung គ្រោងនឹងដំឡើង High-NA EUV ដំបូងរបស់ខ្លួននៅទីក្រុង Hwaseong ប្រទេសកូរ៉េខាងត្បូង ដែលត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងដាក់ឱ្យប្រើប្រាស់នៅពាក់កណ្តាលឆ្នាំ 2025

វាត្រូវបានគេរាយការណ៍ថា Samsung នឹងចាប់ផ្តើមដំឡើង High-NA EUV ដំបូងនៅ Hwaseong Park របស់ខ្លួនក្នុងប្រទេសកូរ៉េខាងត្បូងពីត្រីមាសទី 4 ឆ្នាំ 2024 ដល់ត្រីមាសទី 1 ឆ្នាំ 2025 ។ វាត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងដាក់ឱ្យប្រើប្រាស់នៅពាក់កណ្តាលឆ្នាំ 2025 ហើយនឹងត្រូវបានប្រើជាលើកដំបូងដើម្បីបង្កើតដំណើរការតក្កវិជ្ជាក្រោម 2nm និងដំណើរការបន្ទះឈីប DRAM កម្រិតខ្ពស់។ Samsung ក៏មានគម្រោងសហការជាមួយ Lasertec, JSR, Tokyo Electron និង Synopsys ដើម្បីបង្កើតប្រព័ន្ធអេកូឡូស៊ី High-NA EUV។