三星購買Lasertec的High-NA EUV掩模偵測工具

根據報道，三星已經購買了Lasertec的High-NA EUV掩模偵測工具Actis A300。與傳統EUV專用工具相比，使用High-NA EUV專用工具檢查半導體遮罩可將對比度提高30%以上。