Samsung, Lasertec'in High-NA EUV maske inceleme aracını satın aldı

Samsung'un, Lasertec'in Yüksek NA EUV maske inceleme aracı olan Actis A300'ü satın aldığı bildirildi. Yarı iletken maskelerin Yüksek-NA EUV'ye özel aletler kullanılarak incelenmesi, kontrastı geleneksel EUV'ye özel aletlere kıyasla %30'dan fazla artırabilir.