Samsung приобретает инструмент для проверки масок High-NA EUV от Lasertec

Сообщается, что компания Samsung приобрела Actis A300 компании Lasertec — прибор для проверки масок с высокой числовой апертурой EUV. Проверка полупроводниковых масок с использованием специализированных инструментов для EUV с высокой числовой апертурой позволяет улучшить контрастность более чем на 30% по сравнению с традиционными специализированными инструментами для EUV.