Samsung iegādājas Lasertec High-NA EUV masku pārbaudes rīku

Tiek ziņots, ka Samsung ir iegādājies Lasertec augstas NA EUV masku pārbaudes rīku Actis A300. Pusvadītāju masku pārbaude, izmantojot augstas NA EUV paredzētos rīkus, var uzlabot kontrastu par vairāk nekā 30%, salīdzinot ar tradicionālajiem EUV rīkiem.