Samsung kupi orodje za pregled maske High-NA EUV podjetja Lasertec

Samsung naj bi kupil Lasertec Actis A300, High-NA EUV orodje za pregled maske. Pregledovanje polprevodniških mask z namenskimi orodji High-NA EUV lahko izboljša kontrast za več kot 30 % v primerjavi s tradicionalnimi namenskimi orodji EUV.