Samsung набывае інструмент для праверкі маскі High-NA EUV ад Lasertec

Паведамляецца, што кампанія Samsung набыла Actis A300 ад Lasertec, інструмент інспекцыі маскі High-NA EUV. Агляд паўправадніковых масак з выкарыстаннем спецыяльных інструментаў High-NA EUV можа палепшыць кантраснасць больш чым на 30% у параўнанні з традыцыйнымі спецыяльнымі інструментамі EUV.