Samsung kupuje nástroj pro kontrolu masek Lasertec High-NA EUV

Samsung údajně koupil Lasertec Actis A300, nástroj pro kontrolu masek s vysokou NAD EUV. Kontrola polovodičových masek pomocí specializovaných nástrojů High-NA EUV může zlepšit kontrast o více než 30 % ve srovnání s tradičními nástroji vyhrazenými pro EUV.