Samsung купує інструмент перевірки маски High-NA EUV від Lasertec

Повідомляється, що компанія Samsung придбала інструмент перевірки маски High-NA EUV від Lasertec Actis A300. Перевірка напівпровідникових масок за допомогою спеціальних інструментів High-NA EUV може покращити контраст більш ніж на 30% порівняно з традиційними спеціальними інструментами EUV.