„Samsung“ perka „Lasertec“ aukštos NA EUV kaukės tikrinimo įrankį

Pranešama, kad „Samsung“ įsigijo Lasertec „Actis A300“, didelio NA EUV kaukių tikrinimo įrankį. Puslaidininkinių kaukių tikrinimas naudojant High-NA EUV specialius įrankius gali pagerinti kontrastą daugiau nei 30 %, palyginti su tradiciniais EUV skirtais įrankiais.