Samsung blen mjetin e inspektimit të maskave High-NA EUV të Lasertec

Samsung thuhet se ka blerë mjetin e inspektimit të maskave High-NA EUV të Lasertec Actis A300. Inspektimi i maskave gjysmëpërçuese duke përdorur mjete të dedikuara High-NA EUV mund të përmirësojë kontrastin me më shumë se 30% në krahasim me mjetet tradicionale të dedikuara EUV.