Samsung ostab Laserteci kõrge NA-ga EUV maskide kontrollimise tööriista

Samsung on väidetavalt ostnud Laserteci Actis A300, kõrge NA-ga EUV maskide kontrollimise tööriista. Pooljuhtmaskide kontrollimine kõrge NA-ga EUV-ga spetsiaalsete tööriistade abil võib kontrasti parandada rohkem kui 30% võrreldes traditsiooniliste EUV-le mõeldud tööriistadega.