सैमसंग ने लेजरटेक के हाई-एनए ईयूवी मास्क निरीक्षण उपकरण को खरीदा

सैमसंग ने कथित तौर पर लेजरटेक के एक्टिस ए300 को खरीदा है, जो एक हाई-एनए ईयूवी मास्क निरीक्षण उपकरण है। उच्च-एनए ईयूवी समर्पित उपकरणों का उपयोग करके अर्धचालक मास्क का निरीक्षण करने से पारंपरिक ईयूवी समर्पित उपकरणों की तुलना में कंट्रास्ट में 30% से अधिक सुधार हो सकता है।