Samsung mua công cụ kiểm tra mặt nạ EUV High-NA của Lasertec

Samsung được cho là đã mua Actis A300 của Lasertec, một công cụ kiểm tra mặt nạ EUV có NA cao. Kiểm tra mặt nạ bán dẫn bằng công cụ chuyên dụng EUV High-NA có thể cải thiện độ tương phản hơn 30% so với công cụ chuyên dụng EUV truyền thống.