Samsung ទិញឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យរបាំងមុខ High-NA EUV របស់ Lasertec

Samsung ត្រូវបានគេរាយការណ៍ថាបានទិញ Actis A300 របស់ Lasertec ដែលជាឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យរបាំងមុខ EUV កម្រិតខ្ពស់។ ការត្រួតពិនិត្យរបាំង semiconductor ដោយប្រើឧបករណ៍ពិសេស High-NA EUV អាចកែលម្អកម្រិតពណ៌បានជាង 30% បើប្រៀបធៀបទៅនឹងឧបករណ៍ឧទ្ទិស EUV ប្រពៃណី។