Samsung membeli alat pemeriksaan topeng High-NA EUV Lasertec

Samsung dilaporkan telah membeli Actis A300 Lasertec, alat pemeriksaan topeng EUV High-NA. Memeriksa topeng semikonduktor menggunakan alat khusus EUV High-NA boleh meningkatkan kontras sebanyak lebih daripada 30% berbanding alat khusus EUV tradisional.