Bumili ang Samsung ng High-NA EUV mask inspection tool ng Lasertec

Naiulat na binili ng Samsung ang Actis A300 ng Lasertec, isang High-NA EUV mask inspection tool. Ang pag-inspeksyon sa mga semiconductor mask gamit ang High-NA EUV dedicated tool ay maaaring mapabuti ang contrast ng higit sa 30% kumpara sa tradisyunal na EUV dedicated tool.