اشترت شركة Samsung أداة فحص الأقنعة High-NA EUV من Lasertec
2024-08-17 22:01
282
ذكرت التقارير أن شركة سامسونج اشترت جهاز Actis A300 من Lasertec، وهو أداة فحص أقنعة EUV عالية NA. يمكن أن يؤدي فحص أقنعة أشباه الموصلات باستخدام أدوات EUV المخصصة High-NA إلى تحسين التباين بنسبة تزيد عن 30% مقارنة بأدوات EUV المخصصة التقليدية.
