Samsung, Lasertec-dən High-NA EUV maska yoxlama alətini alır

282
Samsung-un Lasertec-dən High-NA EUV maska yoxlama vasitəsi olan Actis A300-ü satın aldığı bildirilir. High-NA EUV xüsusi alətlərdən istifadə edərək yarımkeçirici maskaların yoxlanılması ənənəvi EUV xüsusi alətləri ilə müqayisədə kontrastı 30%-dən çox yaxşılaşdıra bilər.