סמסונג רוכשת את כלי בדיקת המסכות High-NA EUV של Lasertec
2024-08-17 22:01
282
לפי הדיווחים, סמסונג רכשה את ה-Actis A300 של Lasertec, כלי לבדיקת מסכות EUV High-NA. בדיקת מסכות מוליכים למחצה באמצעות כלים ייעודיים ל-High-NA EUV יכולה לשפר את הניגודיות ביותר מ-30% בהשוואה לכלים ייעודיים מסורתיים ל-EUV.
