EUV-Geräte mit hoher numerischer Apertur sind teuer und groß

EUV-Geräte mit hoher numerischer Apertur sind teurer und kosten zwischen 380 und 400 Millionen US-Dollar. Zudem ist ihre Abbildungsreichweite halbiert, was erhebliche Änderungen im Chipdesign erforderlich macht. Darüber hinaus bedeutet die größere Größe von High-NA-EUV-Systemen im Vergleich zu Low-NA-Systemen, dass die Chiphersteller ihr Fabriklayout überdenken müssen, um diese neue Ausrüstung unterzubringen.