Les équipements EUV à haute ouverture numérique sont coûteux et volumineux

Les équipements EUV à haute ouverture numérique sont plus chers, coûtant entre 380 et 400 millions de dollars, et leur portée d'imagerie est réduite de moitié, ce qui nécessitera des changements majeurs dans la conception des puces. De plus, la taille plus grande des systèmes EUV High-NA par rapport aux systèmes Low-NA signifie que les fabricants de puces devront repenser l'agencement de leur usine pour accueillir ces nouveaux équipements.