Le apparecchiature EUV ad alta NA sono costose e grandi

Le apparecchiature EUV ad alto NA sono più costose (il loro costo varia tra i 380 e i 400 milioni di dollari) e il loro raggio d'azione è dimezzato, il che richiederà modifiche sostanziali alla progettazione dei chip. Inoltre, le dimensioni maggiori dei sistemi EUV High-NA rispetto ai sistemi Low-NA implicano che i produttori di chip dovranno riconsiderare il layout dei loro stabilimenti per poter ospitare queste nuove apparecchiature.