Los equipos EUV de alta NA son costosos y de gran tamaño.

Los equipos EUV de alta apertura numérica son más caros, cuestan entre 380 y 400 millones de dólares, y su rango de generación de imágenes se reduce a la mitad, lo que requerirá cambios importantes en el diseño del chip. Además, el mayor tamaño de los sistemas EUV de alta NA en comparación con los sistemas de baja NA significa que los fabricantes de chips tendrán que repensar el diseño de sus fábricas para acomodar estos nuevos equipos.