Ο εξοπλισμός EUV υψηλής NA είναι ακριβός και μεγάλος

Ο εξοπλισμός High-NA EUV είναι πιο ακριβός, κοστίζει μεταξύ 380 και 400 εκατομμυρίων δολαρίων και το εύρος απεικόνισης του έχει μειωθεί στο μισό, κάτι που θα απαιτήσει σημαντικές αλλαγές στο σχεδιασμό του τσιπ. Επιπλέον, το μεγαλύτερο μέγεθος των συστημάτων High-NA EUV σε σύγκριση με τα συστήματα Low-NA σημαίνει ότι οι κατασκευαστές τσιπ θα πρέπει να επανεξετάσουν την εξαιρετική τους διάταξη για να φιλοξενήσουν αυτόν τον νέο εξοπλισμό.