Høy-NA EUV-utstyr er dyrt og stort

High-NA EUV-utstyr er dyrere og koster mellom $380 millioner og $400 millioner, og bildeområdet er halvert, noe som vil kreve store endringer i brikkedesign. I tillegg betyr den større størrelsen på High-NA EUV-systemer sammenlignet med Low-NA-systemer at chipmakere må revurdere sin flotte utforming for å imøtekomme dette nye utstyret.