Echipamentul High-NA EUV este scump și mare

Echipamentele High-NA EUV sunt mai scumpe, costând între 380 de milioane de dolari și 400 de milioane de dolari, iar gama sa de imagini este redusă la jumătate, ceea ce va necesita modificări majore la designul cipului. În plus, dimensiunea mai mare a sistemelor High-NA EUV în comparație cu sistemele Low-NA înseamnă că producătorii de cipuri vor trebui să-și regândească aspectul fabulos pentru a găzdui aceste noi echipamente.