Yuqori NA EUV uskunalari qimmat va katta

Yuqori NA EUV uskunalari qimmatroq, narxi 380 million dollardan 400 million dollargacha bo'lgan va uning tasvir diapazoni ikki baravar kamaygan, bu esa chip dizayniga katta o'zgarishlar kiritishni talab qiladi. Bundan tashqari, High-NA EUV tizimlarining Low-NA tizimlariga nisbatan kattaroq o'lchamlari chip ishlab chiqaruvchilar ushbu yangi uskunalarni joylashtirish uchun o'zlarining ajoyib dizaynini qayta ko'rib chiqishlari kerakligini anglatadi.