Augstas NA EUV iekārtas ir dārgas un lielas

Augstas NA EUV iekārtas ir dārgākas, maksājot no 380 līdz 400 miljoniem ASV dolāru, un tās attēlveidošanas diapazons ir uz pusi samazināts, kas prasīs lielas izmaiņas mikroshēmu dizainā. Turklāt High-NA EUV sistēmu lielākais izmērs salīdzinājumā ar Low-NA sistēmām nozīmē, ka mikroshēmu ražotājiem būs jāpārdomā savs lieliskais izkārtojums, lai pielāgotu šo jauno aprīkojumu.