Oprema EUV z visokim NA je draga in velika

Oprema High-NA EUV je dražja, stane med 380 in 400 milijoni dolarjev, njen obseg slikanja pa je prepolovljen, kar bo zahtevalo velike spremembe v zasnovi čipa. Poleg tega večja velikost sistemov High-NA EUV v primerjavi s sistemi Low-NA pomeni, da bodo morali izdelovalci čipov ponovno razmisliti o svoji tovarniški postavitvi, da bodo lahko prilagodili to novo opremo.