EUV-обладнання з високим NA є дорогим і великим

Обладнання High-NA EUV є дорожчим і коштує від 380 до 400 мільйонів доларів США, а його діапазон зображення зменшений вдвічі, що вимагатиме серйозних змін у конструкції чіпа. Крім того, більший розмір систем High-NA EUV порівняно з системами Low-NA означає, що виробникам чіпів доведеться переосмислити свою фабрику, щоб розмістити це нове обладнання.