Didelės NA EUV įranga yra brangi ir didelė

Didelės NA EUV įranga yra brangesnė – kainuoja nuo 380 iki 400 mln. Be to, didesnis High-NA EUV sistemų dydis, palyginti su Low-NA sistemomis, reiškia, kad lustų gamintojai turės persvarstyti savo puikų išdėstymą, kad galėtų pritaikyti šią naują įrangą.