อุปกรณ์ EUV NA สูงมีราคาแพงและมีขนาดใหญ่

อุปกรณ์ EUV NA สูงมีราคาแพงกว่า โดยมีราคาอยู่ระหว่าง 380 ล้านถึง 400 ล้านดอลลาร์สหรัฐ และระยะการถ่ายภาพก็ลดลงเหลือครึ่งหนึ่ง ซึ่งจะต้องมีการเปลี่ยนแปลงการออกแบบชิปครั้งใหญ่ นอกจากนี้ ขนาดที่ใหญ่กว่าของระบบ High-NA EUV เมื่อเทียบกับระบบ Low-NA หมายความว่าผู้ผลิตชิปจะต้องคิดทบทวนรูปแบบการผลิตใหม่เพื่อรองรับอุปกรณ์ใหม่เหล่านี้