Thiết bị EUV NA cao đắt tiền và lớn

Thiết bị EUV có NA cao đắt hơn, có giá từ 380 đến 400 triệu đô la và phạm vi hình ảnh bị giảm một nửa, điều này đòi hỏi phải có những thay đổi lớn về thiết kế chip. Ngoài ra, kích thước lớn hơn của hệ thống EUV có NA cao so với hệ thống có NA thấp có nghĩa là các nhà sản xuất chip sẽ cần phải xem xét lại cách bố trí nhà máy của mình để phù hợp với các thiết bị mới này.