Peralatan EUV NA tinggi mahal dan berukuran besar

Peralatan EUV NA tinggi lebih mahal, biayanya antara $380 juta dan $400 juta, dan jangkauan pencitraannya berkurang setengahnya, yang akan memerlukan perubahan besar pada desain chip. Selain itu, ukuran sistem EUV High-NA yang lebih besar dibandingkan dengan sistem Low-NA berarti pembuat chip perlu memikirkan ulang tata letak pabrik mereka untuk mengakomodasi peralatan baru ini.