Peralatan EUV NA tinggi adalah mahal dan besar

Peralatan EUV NA tinggi adalah lebih mahal, berharga antara $380 juta dan $400 juta, dan julat pengimejannya dikurangkan separuh, yang memerlukan perubahan besar pada reka bentuk cip. Selain itu, saiz sistem High-NA EUV yang lebih besar berbanding sistem Low-NA bermakna pembuat cip perlu memikirkan semula susun atur fab mereka untuk menampung peralatan baharu ini.