উচ্চ-NA EUV সরঞ্জাম ব্যয়বহুল এবং বড়

উচ্চ-NA EUV সরঞ্জামগুলি আরও ব্যয়বহুল, যার দাম $380 মিলিয়ন থেকে $400 মিলিয়নের মধ্যে, এবং এর ইমেজিং পরিসর অর্ধেক হয়ে গেছে, যার জন্য চিপ ডিজাইনে বড় পরিবর্তনের প্রয়োজন হবে। উপরন্তু, লো-এনএ সিস্টেমের তুলনায় হাই-এনএ ইইউভি সিস্টেমের আকার বড় হওয়ায় চিপমেকারদের এই নতুন সরঞ্জামগুলিকে সামঞ্জস্য করার জন্য তাদের ফ্যাব লেআউট পুনর্বিবেচনা করতে হবে।