Ang high-NA EUV equipment ay mahal at malaki

Ang high-NA EUV equipment ay mas mahal, na nagkakahalaga sa pagitan ng $380 milyon at $400 milyon, at ang hanay ng imaging nito ay hinahati, na mangangailangan ng malalaking pagbabago sa disenyo ng chip. Bukod pa rito, ang mas malaking sukat ng mga High-NA EUV system kumpara sa Low-NA system ay nangangahulugan na ang mga chipmaker ay kailangang pag-isipang muli ang kanilang fab layout upang ma-accommodate ang mga bagong kagamitang ito.