Hoë-NA EUV-toerusting is duur en groot

Hoë-NA EUV-toerusting is duurder, kos tussen $380 miljoen en $400 miljoen, en sy beeldreeks word gehalveer, wat groot veranderinge aan skyfieontwerp sal verg. Boonop beteken die groter grootte van High-NA EUV-stelsels in vergelyking met Lae-NA-stelsels dat chipmakers hul fantastiese uitleg moet heroorweeg om hierdie nuwe toerusting te akkommodeer.