მაღალი NA EUV აღჭურვილობა ძვირი და დიდია

High-NA EUV აღჭურვილობა უფრო ძვირია, 380-დან 400 მილიონ დოლარამდე ღირს, ხოლო გამოსახულების დიაპაზონი განახევრებულია, რაც ჩიპის დიზაინში დიდ ცვლილებებს მოითხოვს. გარდა ამისა, High-NA EUV სისტემების უფრო დიდი ზომა დაბალი NA სისტემებთან შედარებით ნიშნავს, რომ ჩიპების მწარმოებლებს მოუწევთ გადახედონ თავიანთი ფანტასტიკური განლაგებას, რათა მოერგოს ამ ახალ აღჭურვილობას.